廣州安諾凈化工程有限公司

3.2.5 單向流和混合流潔凈室（區(qū)）的的噪聲級（空態(tài)）不應大于65dB（A），非單向流潔凈室（區(qū)）的噪聲級（空態(tài)）不應大于60dB（A）。

4.3.3

   1 按火災危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時，應設(shè)隔墻；

5.4.2 物料凈化用室與潔凈室（區(qū)）之間應設(shè)置氣閘室或傳遞窗。

5.5.6  潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時，應符合下列規(guī)定：

1 使用油潤滑的真空泵應設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統(tǒng)；

2 對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過下限的20%時，應設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應去除或稀釋可燃氣體組分；

3 傳輸易燃、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。

6.2.1 潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。

6.2.6 在綜合性廠房的一個防火分區(qū)內(nèi)，凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應設(shè)置不燃燒體隔斷設(shè)施。不燃燒體隔斷設(shè)施應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

6.2.7 潔凈廠房的安全出口的設(shè)置，應符合下列規(guī)定;

   1  每一生產(chǎn)層、每個防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目,應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定

   2  安全出口應分散布置,并應設(shè)有明顯的疏散標志;安全疏散距離應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。安全疏散用門應向疏散方向開啟,并應設(shè)觀察玻璃窗;

   3  丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房,在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設(shè)有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后,安全疏散距離可按工藝需要確定,但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。

注：對于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm 的TFT-LCD廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人/㎡，其疏散距離應按工藝需要確定，但不得大于120m。

6.2.8 潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應設(shè)置專用消防口，并應符合下列規(guī)定：

1 潔凈區(qū)各層專用消防口的設(shè)計，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定；

2 潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗，均不應作為專用消防口。

6.2.9 潔凈廠房內(nèi)有危險的房間應靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口（樓梯間）貼鄰。有危險的房間的防爆措施、泄爆面積等應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

6.3.1 潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現(xiàn)行國家標準《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB 50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應大于50，材料的煙密度等級應符合現(xiàn)行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。

7.1.6 潔凈室（區(qū)）與周圍的空間應保持一定的靜壓差，靜壓差應符合下列規(guī)定：

1 各潔凈室（區(qū)）與周圍空間的靜壓差應按生產(chǎn)工藝要求確定；

2 不同等級的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應大于等于5Pa；

3 潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應大于5Pa；

4  潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應大于10Pa。

7.5.1  空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室（區(qū)）不應采用散熱器采暖。

7.5.3

   1 應防止室外氣流倒灌；

2 含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風系統(tǒng)應按其物理化學性質(zhì)采取相應防火防爆措施；

4 對含有水蒸汽或凝結(jié)物質(zhì)的排風系統(tǒng)，應設(shè)置坡度及排放口；

5 排風介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時，應設(shè)置備用排風機和處理設(shè)備，并應設(shè)置應急電源；

6 排風介質(zhì)中含易燃、易爆等危險物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時，應設(shè)置備用排風機，并應設(shè)置應急電源；

7 排除有危險的氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng)，其風量應按在正常運行和事故情況下，風管內(nèi)危險的氣體和粉塵的濃度不大于下限的20%計；

8 排除有危險的氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng)，應設(shè)置消除靜電的接地裝置。

7.5.4 對排風系統(tǒng)中含有毒性、危險性物質(zhì)的排氣管路，應保持相對于路由區(qū)域一定的負壓值。

7.5.6 潔凈室（區(qū)）事故排風系統(tǒng)的設(shè)計，應符合下列規(guī)定：

1 事故排風區(qū)域的換氣次數(shù)不應小于12次/h；

2 應設(shè)置自動和手動控制開關(guān)、手動控制開關(guān)應分別設(shè)置在潔凈室（區(qū)）和潔凈室（區(qū)）外便于操作的地點；

3 應設(shè)置應急電源。

7.6.1 潔凈廠房中的疏散走廊，應設(shè)置機械排煙設(shè)施。

7.7.2 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風管的防火閥的設(shè)置，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

含有可燃、有毒氣體或化學品的排風管道，不得設(shè)置熔片式防火閥。

7.7.7

   2 排煙系統(tǒng)的風管應采用不燃材料制作；

3 附件、保溫材料和消聲材料等均應采用不燃材料或難燃材料。

8.3.1 生產(chǎn)、生活排水系統(tǒng)應分別設(shè)置。生產(chǎn)排水系統(tǒng)應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、污染物濃度和水量等特點確定。有害廢水應經(jīng)廢水處理達到國家或地方排放標準后排放。

8.3.2 潔凈室（區(qū)）內(nèi)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備相連接的重力排水管道，應在排出口以下部位設(shè)置水封裝置。排水系統(tǒng)應有完善的通氣系統(tǒng)。

8.5.1 潔凈廠房必須設(shè)置消防給水系統(tǒng)。消防給水系統(tǒng)的設(shè)置應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

8.5.2

   1 潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層（不含不通行的技術(shù)夾層），應設(shè)置室內(nèi)消火栓；

8.5.3

   3 存放可燃氣體鋼瓶的特氣柜中應設(shè)置自動滅火設(shè)施。

9.2.3

   3 不循環(huán)支管的長度不應大于管徑的6倍；

4 干管應設(shè)置清洗口；

5 管道系統(tǒng)必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象；

10.1.5  潔凈室（區(qū)）內(nèi)的可燃氣體管道和有毒氣體管道應明敷，穿過潔凈室（區(qū)）的墻壁或樓板處的管段應設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應采取密封措施。

10.1.6 可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間；當必須穿過時應設(shè)套管或雙層管。

10.1.7

    2 不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間；

3 管道系統(tǒng)應設(shè)置吹掃口和取樣口。

10.1.8

1 可燃氣體管道設(shè)置閥門時應設(shè)置閥門箱，閥門箱應設(shè)置氣體泄漏報警和事故排風裝，報警裝置應與相應的事故排風機聯(lián)鎖；

3 引至室外的放散管，應設(shè)置防雷保護設(shè)施；

4 應設(shè)置導除靜電的接地設(shè)施。

10.2.5 氣體純化間（站）或氣體入口室內(nèi)，設(shè)有等可燃氣體純化裝置或管道時，氣體純化間（站）或氣體入口室的火災危險性應按甲類確定，并應符合下列規(guī)定：

1 應靠外墻設(shè)置，并應設(shè)置防爆泄壓設(shè)施；

2 等可燃氣體引入管道上應設(shè)置自動切斷閥；

3 應具有良好的自然通風，并應設(shè)置事故排風裝置；

4 應設(shè)置氣體泄漏報警裝置，并應與事故排風裝置聯(lián)鎖；

5 應設(shè)置導除靜電的接地設(shè)施。

10.2.6 潔凈廠房內(nèi)的氧氣管道等，應采取下列安全技術(shù)措施：

1 管道及閥門附件應經(jīng)嚴格的脫脂處理；

2 應設(shè)置導除靜電的接地設(shè)施；

3 氧氣引入管道上應設(shè)置自動切斷閥。

10.4.2 潔凈廠房內(nèi)的特種氣體的儲存分配間應采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室（區(qū)）分隔，隔墻上的門窗應為甲級防火門窗。

10.4.3

1 特種氣體鋼瓶（含硅烷或硅烷混合物）應設(shè)置在具有連續(xù)機械排風的特氣柜中；

2 排風機、泄漏報警、自動切斷閥均應設(shè)置應急電源；

3 一個特氣分配系統(tǒng)供多臺生產(chǎn)設(shè)備使用時，應設(shè)置多路閥門箱；

10.4.5 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應存放在潔凈廠房建筑外的儲存區(qū)內(nèi)。儲存區(qū)的設(shè)置應符合下列規(guī)定：  

1 儲存區(qū)應至少三面敞開，氣瓶應固定在鋼制框架上；

2 氣瓶或氣瓶組與周圍的構(gòu)筑物或圍欄的間距應大于3.0m；

3 儲存區(qū)頂棚的高度應大于3.5m。

11.2.1

    1 化學品儲存間（區(qū)）的儲量不應超過該化學品24h的消耗量；

2 化學品應按物化特性分類儲存；當物化性質(zhì)不容許同庫儲存時，應采用實體墻分隔；

3 危險化學品應儲存在單獨的儲存間或儲存分配間內(nèi)，與相鄰房間應采用耐火極限大于1.50h的隔墻分隔；

5 各類化學品儲存、分配間應設(shè)置機械排風。機械排風應采用應急電源；

6 易爆化學品儲存、分配間，應采用不發(fā)生火花的防靜電地面；

7 輸送易燃、易爆化學品的管道，應設(shè)置導除靜電的接地設(shè)施；

8 接至用戶的輸送易燃、易爆化學品的總管上，應設(shè)置自動和手動切斷閥。

11.2.2 潔凈廠房內(nèi)采用容器傳送危險化學品時，應符合下列規(guī)定：

1 嚴禁在出入口、疏散走廊儲存和分配危險化學品。潔凈廠房內(nèi)運送易燃化學品的走廊應設(shè)置自動滅火系統(tǒng)。

2 運送危險化學品的推車運載量不得超過250L；單個容器的容量不應超過20L；  

3 物理化學特性不相容的危險化學品不得采用同一推車運送。

11.2.3  當采用壓力罐輸送危險化學品時，應符合下列規(guī)定:

    1 輸送系統(tǒng)設(shè)備、管道應采用與所輸送的化學品相容的材質(zhì);

2 壓力罐應設(shè)置減壓通風口,減壓通風口的排氣管應接至安全區(qū)域;

3 輸送系統(tǒng)應只容許采用氮氣增壓;

4 在分配和使用處應設(shè)置手動切斷閥;

5 應設(shè)置液位和自動關(guān)閉裝置,并應設(shè)置溢流應對設(shè)施。

11.2.5 液態(tài)危險化學品的儲存、分配間,應設(shè)置溢出保護設(shè)施,并應符合下列規(guī)定:

1 儲存罐或罐組應設(shè)置保護堤,保護堤堤內(nèi)容積應大于儲罐的容積或20min消防用水量;保護堤的高度不應低于500mm;

2 化學品相互接觸引起化學反應的可燃液體儲罐或罐組之間,應設(shè)置隔堤,隔堤不得滲漏:管道穿過隔堤時應采用不燃材料密封。隔堤高度不應低于400mm;

3 應設(shè)置液體泄露報警.

4 應設(shè)置緊急淋浴。

11.3.1 化學品供應系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用,應按所輸送的化學品的物理化學性質(zhì)確定,并應選擇化學穩(wěn)定性能良好和相容性好的材料。

12.1.8 潔凈廠房內(nèi),可燃氣體或液體的儲存、分配間的電氣設(shè)計,應根據(jù)可燃氣體或液體的特性確定,并應符合現(xiàn)行國家標準《火災危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

12.2.3

1 潔凈室(區(qū))內(nèi)應設(shè)備用照明;

12.2.4 潔凈廠房內(nèi)應設(shè)置供人員疏散用的應急照明，其照度不應低于5.0lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處應設(shè)置疏散標志。在專用消防口應設(shè)置紅色應急照明指示燈。

12.3.2 潔凈廠房應設(shè)置火災自動報警系統(tǒng)，其防護等級應符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。當防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的建筑面積允許值時，保護等級應為一級。

12.3.4

1 潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機房、站房等均應設(shè)置火災探測器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應設(shè)置智能型探測器；

3 硅烷儲存、分配間（區(qū)），應設(shè)置紅外線—紫外線火焰探測器；

12.3.6 潔凈廠房內(nèi)下列場所應設(shè)置氣體泄漏報警裝置：

1 易燃、易爆、有毒氣體的儲存分配間（區(qū)）；

2 易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內(nèi)；

3 工藝設(shè)備的氣體分配箱和排風管內(nèi)。

12.3.7 潔凈廠房內(nèi)氣體報警裝置的聯(lián)動控制，應符合下列規(guī)定：

1 應自動啟動相應的事故排風裝置；

2 應自動關(guān)閉相關(guān)部位的進氣閥；

3 應自動關(guān)閉相關(guān)部位的電動防火門、防火卷簾門；

4 報警信號應發(fā)送至消防控制室和氣體控制室。應自動啟動泄漏現(xiàn)場的聲光警報裝置和應急廣播。

12.3.8 潔凈廠房內(nèi)易燃、易爆、有毒氣體泄漏報警值應為其下限值或允許濃度值的20%。

12.4.4 凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯(lián)鎖控制,并應設(shè)置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設(shè)置無水、無風斷電保護。

13.2.1

    2 防靜電地面的表層應采用靜電耗散性材料，靜電耗散性材料表面電阻率應為2.5× ~1×?；  

3 防靜電地面應設(shè)置導靜電泄放設(shè)施和接地連接，其地面對地泄放電阻值應為1×~1× ?。

13.3.4對電子產(chǎn)品生產(chǎn)工程中產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施，其中有和火災危險的設(shè)備、管道應符合現(xiàn)行國家標準《火災危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。